- IREA Series(Plasma Wet Scrubber)
- AGNI Series(Heat Wet Scrubber)
- NIVAS Series(Heat Cat Scrubber)
- CAPSILON Series(Dry Scrubber)
가스사업부
IREA Series (Plasma Wet Scrubber)
소개
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기능 : Plasma Arc 방전을 통한 폐가스 직접 연소 처리 후 Wet Zone에서 2차 처리
적용공정 : 반도체, Display, Solar 제조 공정 등
적용가스 : PFCs, Flammable Gas, Water-Soluble Gas
강점
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지속적인 R&D 활동으로 타사대비 낮은 전력소비 & 높은 DRE (에너지 효율 극대화)
Torch 구조 단순화로 MTTR 최소화
Powder 저감 특화로 Wet Zone 처리 기술 적용
Pre-Wet Module 적용으로 PM주기 확대
Maintenance 최적화
가스사업부
AGNI Series (Heat Wet Scrubber)
소개
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기능 : Heater 간접 연소 방식으로 유해 가스 1차 처리 후 Wet Zone에서 2차 처리
적용공정 : 반도체, Display, Solar 제조 공정에 널리 사용
적용가스 : PFCs, Flammable Gas, Water-Soluble Gas
강점
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20년이상 고위험 공정 경험, 최상위 Market Share
Global Trend인 ESG경영 방침, 탄소중립에 부합한 Non-Fossil Fuel, Low Power, Low Cost
지속적인 R&D 활동으로 타사대비 낮은 전력소비
Burn, Plasma Type 대비 NOx 발생 최소화
UT사용량 최적화
Chamber 및 기구부 구조 단순화로 조립 용이 (PM 용이)
가스사업부
NIVAS Series (Heat Cat Scrubber)
소개
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기능 : Heat type에 촉매기술을 도입한 Heat-Catalyst-Wet으로 난분해성 Gas를 낮은 온도 영역에서 처리
적용공정 : 반도체, Display, Solar 제조 공정에 널리 사용 (특히 CVD, Etch)
적용가스 : PFCs, Flammable Gas, Water-Soluble Gas
강점
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국내 최상위 Heater type 기술에 자체 개발 촉매 적용, 24년 국내 최초 양산 판매 중
Global Trend인 ESG경영 방침, 탄소중립에 부합한 Non-Fossil Fuel, Low Power, Low Cost
Burn, Plasma Type 대비 NOx 발생 최소화
Full Swap 방식 (MTTR 최소화)
Low Energy Zone에서 NF3, N2O 처리
Powder 막힘 방지 설계
가스사업부
CAPSILON Series (Dry Scrubber)
소개
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기능 : Resin(흡착제)을 사용하여 상온에서 유해 가스를 화학적 흡착 방식으로 처리
적용공정 : 반도체, Display, Solar 제조 공정 등
적용가스 : Acid, Basic, Toxic Gas
강점
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다양한 흡착제 보유로 여러 Target Gas 동시 처리 가능 (다단, 혼합 충진 구조)
차압 개선형 이중 Canister 구조로 Powder 막힘 최소화
기구부 구조 단순화로 높은 편의성
소형 Canister 적용으로 안정적 지속 가동 가능