- SELVAS Series(Room-Temp adsorption type)
- DIANA Series(Getter Type)
- EDELYN Series(OLED Circulation)
- FREYA Series(Line Purifier)
가스사업부
SELVAS Series (Room-Temp adsorption type)
소개
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기능 : 금속 촉매 및 흡착제로 공급 되는 메인 가스에 포함된 불순물을 화학적, 물리적 흡착 및 정제
(Option : Reactor를 추가하여 불순물 CH₄ 제거)적용가스 : N2, O2, He, H2, Ar
불순물 : H₂, CO, CO₂, H₂O, (CH₄), etc.
적용분야 : Semi, LCD, LED, Solar
강점
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정제/재생이 시스템화되어 초고순도 가스의 연속적인 공급을 통한 생산 효율성 극대화
다양한 옵션 장착을 통해 장비 운용의 안정성 강화 및 맞춤형 솔루션 제공
절연 성능과 열전도성 높고, 저항 및 절연 저항 안정적인 Micro Heater 적용
국내/외 안전 인증 라이센스 보유 (방폭, 압력용기, CE)
설비 Line-Up (대용량 Max. 20,000Nm3)
가스사업부
DIANA Series (Getter Type)
소개
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기능 : 상온 흡착으로 제거하기 어려운 흡착성이 낮은 불순물과 반응성이 낮은 불순물(CH4, N2 )을 제거
적용가스 : Ar, H2, He
불순물 : CH4, N2, O2, CO, CO2, H2O, etc.
적용분야 : Semi, LCD, LED, Solar
강점
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정제/재생이 시스템화되어 초고순도 가스의 연속적인 공급 가능
Option 장착을 통한 장비 운용의 안정성 및 편의성
절연 성능과 열전도성 높고, 저항 및 절연 저항 안정적인 Micro Heater 적용
국내/외 안전 인증 라이센스 보유 (방폭, 압력용기, CE)
설비 Line-Up (Max. 200Nm3)
가스사업부
EDELYN Series (OLED Circulation)
소개
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기능 : OLED 공정 소자 품질에 영향을 주는 O2, H2O 등의 불순물을 제거하기 위하여 Process Gas 內 O2, H2O 불순물 정제 후 공급 순환하여 Chamber 분위기 유지 정제 역할
적용가스 : N2, CDA, etc.
적용분야 : OLED N2 Circulation
강점
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정제와 재생이 시스템화되어 고순도 가스의 연속적인 순환 공급 가능
유량, 압력, 온도 제어의 안정적인 장비 운영성
반응성 및 측정 속도가 빠른 O2, H2O Sensor 기본 장착
설비 Line-Up (Max. 100Nm3)
가스사업부
FREYA Series (Line Purifier)
소개
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기능 : 금속 촉매 및 흡착제로 공급되는 가스에 포함된 불순물을 화학적, 물리적 흡착 정제
적용가스 : N2, He, H2, Ar, O2
불순물 : CO, CO₂, H₂O, O2, etc
적용분야 : Semi, LCD, LED, Solar
강점
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고객사의 다양한 요구 사항에 맞춰 커스터마이징 설계 가능
국내/외 안전 인증 라이센스 보유 (압력) : KOSHA, KGS, CSEL, ASME
설비 Line-Up (Max. 20,000Nm3)