적외선을 활용한 정밀 열처리
원적외선 가열 방식으로 승온 시간 단축
Particle 발생 요인 Zero화로 Class 10 유지
열 손실 최소화, 폐열 회수 설계로 소비 전력 절감
산소 농도 1ppm 이하 제어
적용 Glass 크기 : ~11Gen.
공정 온도 및 균일도 : Max 350℃, ±2℃
공급 Gas : N2, CDA Gas 혼합 / 치환 적용 가능
LCD, OLED 全 공정 대응
